微細(xì)加工技術(shù)發(fā)文選摘

• 1、電子束環(huán)氧基負(fù)膠的曝光反應(yīng)機(jī)理分析

  作者：盧文娟; 張玉林; 孔祥東

• 2、環(huán)境因素對(duì)微納加工中精確定位影響的研究

  作者：張波; 薛虹

• 3、電子束直寫(xiě)中X射線(xiàn)光刻掩模的熱形變研究

  作者：尚鴻雁; 王永坤

• 4、飛秒激光應(yīng)用于合金材料微細(xì)加工的試驗(yàn)研究

  作者：劉勛; 陳濤; 劉世炳; 左鐵釧

• 5、光刻機(jī)試驗(yàn)運(yùn)動(dòng)裝置振動(dòng)信號(hào)的時(shí)頻分析

  作者：鄧習(xí)樹(shù); 吳運(yùn)新; 隆志力; 楊輔強(qiáng)

• 6、微細(xì)工件的高頻群脈沖ECLM試驗(yàn)研究

  作者：付偉; 張之敬; 溫楠

• 7、基于AFM的多圖層圖形加工

  作者：李曉娜; 韓立

• 8、氨化Si基Ga2O3/Ta薄膜制備GaN納米線(xiàn)

  作者：李紅; 薛成山; 莊惠照; 張曉凱; 陳金華; 楊兆柱; 秦麗霞

• 9、基于多種群遺傳算法的膜系優(yōu)化設(shè)計(jì)

  作者：劉磊; 金春水; 金偉華

• 10、Al摻雜的ZnO薄膜的XPS譜和光學(xué)特性研究

  作者：李麗; 常仁杰; 方亮; 李秋俊; 陳希明; 馮世娟